螺杆真空泵是利用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备，它是油封式真空泵的更新换代产品，能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合，在国内制药、化工、半导体等对清洁真空要求较高的企业领域得到广泛应用。

其工作原理：
　　螺杆真空泵的工作过程可分为三个过程：吸气，压缩和排气。 当转子旋转时，彼此啮合的每一对齿又一次完成相同的工作循环。 现在，一对牙齿用于说明。
　　吸入过程
　　阳转子逆时针旋转，而内螺纹顺时针旋转。 图中转子的上端是吸气段，下端是排气端。
　　压缩过程
　　端面是排气端面。 在此，阳转子顺时针旋转，阴转子逆时针旋转。 图中转子的上端是吸气段，下端是排气端。
　　排气过程
　　在螺杆泵的排气过程中，在齿之间的容积连接到排气口之后开始排气过程。 随着齿间容积的不断减小，具有排气压力的气体逐渐通过排气口排出。